EV-PA500 是日本荏原制作所（EBARA）推出的一款超小型、輕量型空冷式干式真空泵，專為實驗室、分析儀器及輕型工業應用設計

一、核心參數

• 抽氣速度：500 L/min (18 cfm)；氣鎮開啟時：430 L/min

• 極限真空：0.5 Pa (氣鎮開啟時：2.0 Pa)

• 冷卻方式：空冷（無需冷卻水）

• 電源：單相 100–240 VAC, 50/60 Hz

• 功耗：0.27 kW（極限真空下）

• 重量：21 kg

• 尺寸 (W×L×H)：189 × 482 × 272 mm

• 噪音：58 dB(A)

• 進氣 / 排氣口：NW25 快裝接口

二、主要特點

1. 無油潔凈真空：采用多級羅茨（Roots）非接觸轉子結構，無油，避免污染，適合對清潔度要求高的場景。

2. 免維護設計：無密封件磨損，無需年度保養，大幅降低使用成本。

3. 便攜節能：體積小、重量輕，支持移動使用；超低功耗（<300W）。

4. 低噪低震：運行安靜平穩（58 dB），適合實驗室環境。

5. 寬電壓適配：通用電壓（100-240V），即插即用。

三、典型應用場景

• 分析儀器：電子顯微鏡（SEM/TEM）、質譜儀（MS）、表面分析儀、殘余氣體分析儀（RGA）

• 半導體 / 科研：小型負載鎖（Load Lock）、真空手套箱、真空傳輸系統

• 工業 / 檢測：檢漏設備、真空吸附、小型鍍膜、真空脫氣

• 移動作業：便攜式真空系統、野外 / 現場測試設備