一、核心參數（EV-S50N）

• 抽速：500 m3/h (N?)

• 極限真空：5×10?3 mbar (0.5 Pa)

• 功率：0.65 kW

• 尺寸：510 × 260 × 520 mm

• 重量：120 kg

• 電源：380–440 V, 3-phase, 50/60 Hz

二、優點

1. 節能高效

• 低功耗設計（0.65 kW），比傳統泵省電。

• 電機效率高，壓縮功耗低。

2. 體積小、占地少

• 結構緊湊（510×260×520 mm），適合潔凈室 / 狹小空間。

3. 極限真空高

• 可達 0.5 Pa，滿足半導體 / 液晶工藝要求。

4. 干式無油、潔凈

• 無油污染，適合對潔凈度要求高的制程。

5. 維護成本低

• 無油更換、無油霧處理，運維簡單。

6. 低噪音、低振動

• 多級轉子設計，運行平穩。

7. 耐腐蝕（N 型）

• 可處理輕度腐蝕性工藝氣體。

8. 可靠性高、壽命長

• 荏原工業級品質，適合連續 24 小時運行。

三、缺點

1. 價格高

• 進口品牌，整機與備件比國產干式泵貴。

2. 對粉塵 / 顆粒敏感

• 易磨損、卡滯，需前置過濾。

3. 耐腐蝕性有限（N 型）

• 強腐蝕工況需選更高等級（如 C 型）或加防腐涂層。

4. 噪音在高負荷下偏大

• 滿負荷時需隔音處理。

5. 維修依賴原廠 / 授權商

• 結構精密，非專業維修易故障。

6. 啟動 / 停機流程較復雜

• 需氮氣吹掃、防腐蝕與粘連。

7. 重量較大（120 kg）

• 安裝搬運需起重設備。

四、適用 vs 不適用場景

• 半導體 / 液晶：CVD、PVD、蝕刻、離子注入

• 真空鍍膜、電子束焊接

• 實驗室 / 分析儀器、潔凈干燥工況

• 含大量粉塵 / 顆粒（如粉末冶金、塑料擠出）

• 強腐蝕氣體（HCl、Cl?、F 基）

• 高濕度、可凝性氣體多

五、總結

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