HE-480R 是日本 HORIBA（堀場） 生產的 嵌入式（面板式）超純水電阻率計，專為半導體、電子、制藥行業的超純水（UPW）在線監測設計。

一、核心規格

• 品牌：HORIBA Advanced Techno (堀場)

• 型號：HE-480R (W) —— W 代表超純水專用

• 類型：4 線式、面板安裝型電阻率儀

• 測量原理：雙電極法（2-electrode）

• 電極常數：0.01 /cm（適配超純水低電導）

二、測量范圍

• 電阻率：

• 0 ~ 0.200 / 2.00 / 20.00 / 100.0 MΩ·cm

• （或 0~2.00 / 20.0 / 200.0 / 1000 kΩ?m）

• 溫度：0 ~ 100°C

• 溫度傳感器：Pt1000 鉑電阻（1000Ω / 0°C）

• 精度：重復性 ±0.5% FS；線性 ±0.5% FS

三、主要功能

• 自動溫度補償（ATC）：自動換算為 25°C 標準電阻率

• 補償模式：純水 / 超純水 / 用戶自定義

• 雙行數碼顯示：電阻率 + 溫度

• 輸出：

• 模擬：4~20mA DC（隔離，大負載 900Ω）

• 繼電器：2 點報警輸出（R1/R2）

• 通訊：RS-485（可選）

• 供電：AC 100~240V，50/60Hz

四、尺寸與安裝

• 面板尺寸：48 (W) × 96 (H) mm（SLIM48 標準）

• 深度：115mm（安裝后約 105mm）

• 重量：約 400g

五、典型應用

• 半導體：硅片清洗超純水監控

• 電子、制藥、食品：高純水工藝監測

• 適合：最終清洗（Final Rinse） 環節

六、常見型號區別

• HE-480R：單通道，標準型

• HE-480R(W)：超純水專用（常用）

• HE-960RW：96mm 尺寸，雙通道